廣東省半導體產業技術研究院是廣東省科學院下屬的18個骨干研究院所之一。廣東省科學院是在廣東省委省政府為落實中央創新驅動發展戰略、基于已有科研力量新組建的高端樞紐型研發平臺，是廣東省政府直屬事業單位，具有較雄厚的技術研發能力和較成熟的科研成果轉化配套政策，擁有國家級科研創新與服務平臺14個、省部級科研創新與服務平臺86個。廣東省半導體產業技術研究院擁有較完善先進的第三代半導體技術研發平臺，設備價值逾億元；是中國有色金屬學會寬禁帶半導體專業委員會掛靠單位。